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氦质谱检漏仪(双口型)       型号:ZLS-26D-S

 

产品简介:

    ZLS-26D/T(双口型)氦质谱检漏仪是为适应生产线上快速工作的要求而研制的。其和ZLS-26D/T相比,真空系统和电路基本相同,检漏指标也相当,只是多一套辅助系统。每一套辅助系统均可单独完成对工件的“初抽—检漏—放气”这样一个完整的检漏工作周期。 
 

主要技术参数:

有两个检漏接口
仪器最小可检漏率:优于5~10^-12Pa~m^3/s
仪器最大可检漏率:2×10^-1Pa~m^3/s
仪器漏率显示范围:2×10^-1~2×10^-13Pa~m^3/s
仪器的反应时间:  不大3s
仪器质谱室允许工作的最高压强:1×10^-2Pa
仪器测试口允许工作的最高压强:1000Pa
被检件由粗抽至检清的自动切换点(检漏点)可调范国:50~10^-1Pa
音响器报警点设定范围:任意
背压法检漏时间可调范围:5~30s
仪器的启动时间:  不大于5min
仪器的轮廓尺寸:  640*550*980 mm^3
仪器的重量:      约100Kg