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氢氟酸        型号:JS132

 

 

类别 EL CMOS UL
含量(HF),% min40.0 min40.0 min40.0
  49.0±0.5 49.0±0.2 49.0±0.2
色度(Hazen),max 10 10 10
氟硅酸(H2SiF6),ppm;max 100 50 50
杂质最高含量,ppb      
灼烧残渣,max 5000 3000 2000
氯化物(Cl),max 5000 3000 2000
磷酸盐(PO4),max 1000 500 500
硫酸盐(SO4),max 5000 1000 1000
亚硫酸盐(SO3),max 3000 1000 500
铝(Al),max   50 10
锑(Sb),max   20 10
砷(As),max 50 30 10
钡(Ba),max   50 10
铍(Be),max     10
铋(Bi),max   20 10
硼(B),max   20 10
镉(Cd),max   50 10
钙(Ca),max 100 50 10
铬(Cr),max   10 10
钴(Co),max   20 10
铜(Cu),max 100 20 10
镓 (Ga),max   20 10
锗(Ge),max     10
铟(In),max   20 10
金(Au),max   50 10
铁(Fe),max 300 100 10
铅(Pb),max 100 20 10
铂(Pt),max   50 10
锂(Li),max   20 10
镁(Mg),max 100 50 10
锰(Mn),max   20 10
钼(Mo),max   50 10
镍(Ni),max   50 10
铌(Nb),max     10
钾(K),max   50 10
银(Ag),max   20 10
钠(Na),max 500 100 10
锶(Sr),max     10
钽(Ta),max     10
铊(Tl),max     10
锡(Sn),max   20 10
钛(Ti),max   50 10
钒(V),max     10
锌(Zn),max   50 10
锆(Zr),max     10
颗粒,(个/ml)      
≥0.5μm,max   100 30
≥1.0μm,max 25 10 5

1.性状
分子式:HF 分子量:20.01
无色液体,密度(25℃)1.13g/ml。在空气中发烟,呈强酸性。对金属、玻璃有强烈腐蚀。
2.用途 
强酸性清洗腐蚀剂,可与氟化铵、硝酸、冰乙酸等配套使用,主要用于集成电路的生产。 
3.贮存与运输 
强酸性腐蚀品。密闭包装,并贮存于阴凉通风处。 
UN N0:1790 CN NO:81016 
4.包装及标志 
0.5L、4L、20L、200L聚乙烯瓶(桶)包装。腐蚀、有毒品。