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紫外负型光刻胶 型号:BN-308
BN308系列紫外负型光刻胶为高抗蚀负性光刻胶, 该系列产品在厚膜应用时仍有较好的分辨率,图形边缘陡直,胶膜对硝酸、氢氟酸、冰乙酸硅腐蚀液有优良的抗腐蚀能力。在硅片上可刻出70-130μm的沟槽。适用于台面工艺和功率器件的制作。 ⒈ 性质: 本该产品为浅黄色、粘稠的清亮液体,易溶于苯类溶剂,在酮类、醇类等溶剂中能析淀出絮状固体。在光或热作用下,其中交联剂分解成游离基,与环化胶中的不饱和键加成形成网状结构。 特点:BN308-150、BN308-300、BN308-450系列产品能形成较厚涂层, 显影留膜率高,一般分辨率为1:3(膜厚:线宽)。 ⒉ 用途: BN308系列产品适用于电力电子工业中晶闸管,大功率管等制作工艺, 深腐蚀加工及喷砂工艺要求,刻蚀深度为70-130μm,特殊要求产品可刻蚀140μm深槽。